減速機(jī)在半導(dǎo)體設(shè)備有哪些作用在半導(dǎo)體設(shè)備中，減速機(jī)（尤其是行星減速機(jī)）扮演著至關(guān)重要的角色，其主要作用體現(xiàn)在高精度傳動、扭矩優(yōu)化、穩(wěn)定運行、適應(yīng)特殊環(huán)境等方面，具體分析如下：1.高精度傳動，滿足納米級制造需求半導(dǎo)體制造對精度要求高，例如光刻設(shè)備需實現(xiàn)納米級定位精度。行星減速機(jī)通過多齒輪協(xié)同傳動，將電機(jī)的高速旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)化為低速高精度運動，確保設(shè)備的微米級甚至納米級定位精度。其傳動精度可達(dá)0.5弧分以內(nèi)，齒側(cè)間隙控制在極小范圍，避免因傳動誤差導(dǎo)致晶圓劃傷或芯片良率下降。2.扭矩優(yōu)化，...
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